气体名称

二氯二氢硅 (SiH₂Cl₂)

成分或杂质名称

产品指标

纯度

≥99.9%

电阻率

≥400 ohm.cm

其他氯硅烷

≤1000 ppm/w

碳（C）

≤0.03 ppm/w

施主杂质（砷As，磷P）

≤0.08 ppb/w

硼（B）

≤0.01 ppb/w

铁(Fe)

＜2 ppb/w

镍（Ni）

≤0.2 ppb/w

铬（Cr）

≤2 ppb/w