高纯四氯化硅 (TET)
四氯化硅不锈钢瓶采用316L不锈钢制作的高洁净容器，容积有45L、250L、900L三种规格，阀门为1/2"、1/4”VCR接口阀门，三种规格容器可分别充装45kg、300kg和1000kg产品，还可根据用户需求提供不同包装和接口。
产品指标：
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气体名称 |
SiCl4 |
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成分或杂质名称 |
产品指标 |
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纯度 |
≥99.9999% |
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电阻率 |
≥500 ohm.cm |
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其他氯硅烷 |
<1ppm/w |
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碳 |
<0.2ppb/w |
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施主杂质（砷As、磷P） |
≤0.08ppb/w |
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硼(B) |
≤0.1ppb/w |
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铁(Fe) |
<2ppb/w |
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镍(Ni) |
≤2ppb/w |
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铬(Cr) |
≤1ppb/w |
