高纯三氯氢硅（TCS）
产品描述：
三氯氢硅包装采用316L不锈钢制作，容积有45L,250L,900L三种规格，阀门为1/2‘’、1/4‘’VCR接口阀门两种规格，容器可分别充装45KG,250KG,1000KG产品；还可根据用户特殊要求提供不同包装和接口，包括ISO-TANK.
技术数据表：
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气体名称 |
三氯氢硅（SiHCl3） |
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成分或杂质名称 |
产品指标 |
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纯度 |
≥99.99% |
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电阻率 |
≥1000 ohm.cm |
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其他氯硅烷 |
≤100 ppm/w |
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碳（C） |
≤5 ppb/w |
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施主杂质（砷As，磷P） |
≤0.07 ppb/w |
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硼（B） |
≤0.01 ppb/w |
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铁 (Fe) |
≤1 ppb/w |
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镍（Ni） |
≤0.1 ppb/w |
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铬（Cr） |
≤0.1 ppb/w |
