高纯甲基三氯硅烷(MTS)
采用316L不锈钢制作，容积有45L、250L、900L三种规格，1/2”、1/4”VCR接口阀门两种规格，容器可分别充装45kg、250kg、1000kg产品; 还可根据用户特殊要求提供不同包装和接口，包含ISO-TANK。
技术指标
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成分/杂质名称 |
产品指标 |
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纯度 |
≥99.99%(基于金属杂质) |
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三甲基一氯硅烷 |
<100ppm |
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四氯化硅 |
<100 ppm |
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金属杂质总量 |
<10 ppm |
