高纯二氯二氢硅（DCS）
产品描述：
二氯二氢硅包装采用316L不锈钢制作，容积有10L、47L二种规格，分别充装10KG，40KG产品；阀门为CGA678/CGA636规格，还可根据用户特殊要求提供不同包装和接口。
技术数据表：
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气体名称 |
二氯二氢硅 (SiH2Cl2) |
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成分或杂质名称 |
产品指标 |
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纯度 |
≥99.9% |
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电阻率 |
≥400 ohm.cm |
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其他氯硅烷 |
≤1000 ppm/w |
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碳（C） |
≤0.03 ppm/w |
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施主杂质（砷As，磷P） |
≤0.08 ppb/w |
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硼（B） |
≤0.01 ppb/w |
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铁(Fe) |
＜2 ppb/w |
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镍（Ni） |
≤0.2 ppb/w |
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铬（Cr） |
≤2 ppb/w |
