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高纯四氯化硅 (TET)

高纯四氯化硅 (TET)

四氯化硅不锈钢瓶采用316L不锈钢制作的高洁净容器,容积有45L250L900L三种规格,阀门为1/2"1/4VCR接口阀门,三种规格容器可分别充装45kg300kg1000kg产品,还可根据用户需求提供不同包装和接口。


产品指标:

气体名称

SiCl4

成分或杂质名称

产品指标

纯度

99.9999%

电阻率

500 ohm.cm

其他氯硅烷

<1ppm/w

<0.2ppb/w

施主杂质(砷As、磷P

0.08ppb/w

(B)

0.1ppb/w

(Fe)

<2ppb/w

(Ni)

2ppb/w

(Cr)

1ppb/w




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