甲基硅烷(MS)
使用经过内壁镜面抛光、钝化处理的碳钢瓶。容积有10L、47L二种规格，阀门为CGA660/CGA350/CGA634，不同容积的容器均按充装系数0.25kg/L包装产品，还可根据用户需求提供不同包装和接口。
产品指标：
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材料级甲基硅烷 |
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气体名称 |
Methylsilane(CH,SiH,) |
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成份/杂质名称 |
产品指标 |
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甲基硅烷 |
≥99.5 % |
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不凝气杂质(N，，Oz+Ar，CO，CH) |
≤0.2% |
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硅烷 |
≤0.2% |
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氯硅烷 |
≤0.1% |
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电子级甲基硅烷 |
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气体名称 |
Methylsilane(CH3SiH3) |
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成份/杂质名称 |
产品指标 |
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SiH3CH3 |
>99.98%(不含其他甲基硅烷) |
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N2 |
≤10ppm/v |
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Ar+O2 |
≤2ppm/v |
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CO2 |
≤10ppm/v |
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CH4 |
≤50ppm/v |
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SiH4 |
≤50ppm/v |
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Other Methylsilanes |
≤50ppm/v |
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Chlorosilanes |
≤50ppm/v |
