三甲基硅烷(3MS)
使用经过内壁镜面抛光、钝化处理的碳钢瓶。容积有10L、47L二种规格，阀门为CGA660/CGA350/CGA634，两种规格容器可分别充装3KG和15KG产品，还可根据用户需求提供不同包装和接口。
技术指标
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材料级三甲基硅烷 |
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成分/杂质名称 |
产品指标 |
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三甲基硅烷 |
≥99.5 % |
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不凝气杂质(N2, O2+Ar，CO2, CH4) |
≤1.0 % |
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硅烷 |
≤0.5 % |
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氯硅烷 |
≤0.5 % |
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电子级三甲基硅烷 |
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成分/杂质名称 |
产品指标 |
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( CH3)3SiH |
≥99.99%(不含其他甲基硅烷) |
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N2 |
≤10 ppm/v |
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O2+Ar |
≤2ppm/v |
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CO2 |
≤5ppm/v |
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CH4 |
≤5ppm/v |
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SiH4 |
≤5ppm/v |
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Other Methylsilanes |
≤300 ppm/v |
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Chlorosilanes |
≤10 ppm/v |
